測(cè)試原理
 濕度測(cè)量?jī)x器從原理上可分為冷鏡式、完全吸收電解式、Al2O3電容式、薄膜電容式、電阻式、干濕球、機(jī)械式。其中完全吸收電解式微水儀、Al2O3電容式露點(diǎn)儀一般用于低濕范圍的測(cè)量，而電阻式、干濕球、機(jī)械式濕度計(jì)只能用于相對(duì)濕度的測(cè)量，冷鏡式、薄膜電容式（Vaisala公司的**）濕度計(jì)則不僅能用于低濕的測(cè)量，還能用于中高濕，即相對(duì)濕度的測(cè)量。上述各種原理的儀器各有其優(yōu)缺點(diǎn)。其中冷鏡式露點(diǎn)儀是*準(zhǔn)確、*可靠、*基本的測(cè)量方法，被廣泛地用于標(biāo)準(zhǔn)傳遞，但其缺點(diǎn)是價(jià)格比較昂貴，并需要有經(jīng)驗(yàn)的人操作及保養(yǎng)。
1.冷鏡式露點(diǎn)儀 

     測(cè)量原理 

 被測(cè)濕氣進(jìn)入露點(diǎn)測(cè)量室時(shí)掠過(guò)冷鏡面，當(dāng)鏡面溫度高于濕氣的露點(diǎn)溫度時(shí)，鏡面呈干燥狀態(tài)，此時(shí)光電檢露裝置中光源發(fā)出的光照在鏡面上，幾乎完全反射，由光電傳感器感應(yīng)到并輸出光電信號(hào)，經(jīng)控制回路比較、放大、驅(qū)動(dòng)熱電泵，對(duì)鏡面致冷。當(dāng)鏡面溫度降至濕氣露點(diǎn)溫度時(shí)，鏡面上開(kāi)始結(jié)露（霜），光照在鏡面上出現(xiàn)漫反射，光電傳感器感應(yīng)到的反射信號(hào)隨之減弱，此變化經(jīng)控制回路比較、放大后調(diào)節(jié)熱電泵激勵(lì)，使其制冷功率適當(dāng)減小，*后，鏡面溫度保持在樣氣露點(diǎn)溫度上。鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應(yīng)，并顯示在顯示窗上。 
       目前世界上生產(chǎn)冷鏡式露點(diǎn)儀的公司，例如美國(guó)的GE、Edgetech、等公司均是采用這一原理，英國(guó)的MICHELL則是采用雙光路檢測(cè)系統(tǒng)，即同時(shí)對(duì)反射光及散射光進(jìn)行檢測(cè)，芬蘭Vaisala則是利用聲波作檢測(cè)系統(tǒng)。 
在測(cè)量過(guò)程中，隨著溫度的降低，被測(cè)氣體中的水汽接近飽和狀態(tài)，由于引力作用，水分子吸附在鏡面上形成一層薄薄的水膜。這是形成露的**階段。當(dāng)鏡面溫度繼續(xù)下降時(shí)，水膜的厚度逐漸增加，這是形成露的**階段。在這一階段內(nèi)，自由表面對(duì)水分子的引力與水膜的表面張力之間的力量對(duì)比開(kāi)始發(fā)生變化，后者的影響逐漸起支配作用。此時(shí)冷卻表面上的任何不穩(wěn)定的因素，例如鏡面上的微小傷痕等，都會(huì)使水膜縮聚成液滴。隨著鏡面溫度的進(jìn)一步下降，露滴開(kāi)始出現(xiàn)，通過(guò)顯微鏡可以看到孤立生長(zhǎng)而且分布不規(guī)則的露滴，然后露層以很快的速度在表面上擴(kuò)散，此時(shí)可以認(rèn)為液-汽平衡開(kāi)始，即達(dá)到露點(diǎn)。

 優(yōu)缺點(diǎn) 
    優(yōu)點(diǎn)：屬基本測(cè)量，測(cè)量準(zhǔn)確，并且儀器比較穩(wěn)定無(wú)漂移，目前準(zhǔn)確度*高的儀器可達(dá)±0.1℃。 
    缺點(diǎn)：價(jià)格較高，對(duì)操作人員的要求較高，并需進(jìn)行維護(hù)。對(duì)污染物敏感。在-20℃~0℃范圍內(nèi)有時(shí)會(huì)有過(guò)冷水存在，因此要特別小心區(qū)分過(guò)冷水和霜。 

2、氧化鋁電容式濕度計(jì) 

     測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)及應(yīng)用范圍 
該儀器形式繁多，例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的、顯示多參數(shù)的等等。但其本質(zhì)是一個(gè)電容器，通過(guò)將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導(dǎo)電的基體上，然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導(dǎo)電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過(guò)金薄層被孔狀的氧化鋁吸收，這個(gè)電容器的阻抗與水分子個(gè)數(shù)，即水汽分壓成一定的比例。通過(guò)測(cè)量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓，通過(guò)換算可得到露點(diǎn)值。 
位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在10-3Pa(約相當(dāng)于-110℃露點(diǎn))到水的飽和汽壓的整個(gè)范圍內(nèi)都有響應(yīng)。由于其對(duì)水的強(qiáng)烈的親和力，再加上水的較大的介電常數(shù)，使得這類(lèi)儀器對(duì)水有高度的選擇性，而對(duì)其它普通氣體及有機(jī)氣和液體沒(méi)有響應(yīng)。 
在中高濕范圍其準(zhǔn)確度一般為±1~±2℃，低濕范圍，比如-100℃時(shí)，準(zhǔn)確度一般為±2~±3℃。該類(lèi)傳感器不與烴類(lèi)氣體、CO、CO2、含氯氟烴氣體發(fā)生反應(yīng)，但對(duì)于不同的氣體其漂移不同。對(duì)于某些腐蝕性氣體，例如氨、SO3以及氯，則會(huì)損壞傳感器，因此應(yīng)盡量避免。 

       2 .2使用注意事項(xiàng) 
這類(lèi)儀器通常的測(cè)量范圍為-110℃~+20℃。當(dāng)被測(cè)露點(diǎn)較高時(shí)，會(huì)使得儀器產(chǎn)生較大的漂移。同時(shí)還需注意溫度系數(shù)。由于其對(duì)水汽分壓產(chǎn)生響應(yīng)，因此應(yīng)注意測(cè)量時(shí)氣體總壓的變化。 
避免灰塵、油污，測(cè)量時(shí)氣體流量較大，一般為3~5（L/min），甚至更大。 

      2.3 優(yōu)缺點(diǎn) 
    優(yōu)點(diǎn)：較寬的響應(yīng)范圍，從1μL/L（ppmv）到80%RH，可以遠(yuǎn)程安裝，可以現(xiàn)場(chǎng)使用，相對(duì)穩(wěn)定，響應(yīng)較快，溫度系數(shù)較小，與流量變化無(wú)關(guān)，對(duì)水分有較高的選擇性，可以在較寬的溫度和壓力范圍內(nèi)使用，日常維護(hù)量較小，體積小。 

    缺點(diǎn)：該方法是間接測(cè)量，在較高的溫度下操作或某些氣體會(huì)引起漂移，受腐蝕性氣體的影響，必須定期校準(zhǔn)以克服老化、滯后及污染。由于響應(yīng)值非線性，因此需對(duì)每只傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，不能通用。